由于数控机床加工速度的提高，对加工精度的要求也越来越高。轮廓精度已成为影响工件表面质量的重要因素。对于XY平台伺服系统而言，轮廓加工轨迹是X轴和Y轴协调运动的结果，轮廓精度是各单轴位置精度与两轴联动精度的总和。系统运行过程中，X、Y轴受到载荷扰动、机械惯性、双轴响应速度失配等影响，对轮廓精度有很大影响。

　　与"旋转电机+滚珠丝杠"进给方式相比，直线电机伺服系统通过消除中间机械传动链，可以实现高响应、高精度的直线运动，避免了有间隙、摩擦、动刚度不足等缺点。本文XY平台驱动元件采用永磁直线同步电动机，充分发挥了其高速动态响应和跟踪精度高的优点。

　　单轴独立控制广泛应用于数控机床多轴联动控制等诸多领域，通过降低各轴的跟踪误差间接降低轮廓误差。本文的单轴速度控制器采用PDFF控制，这是一种双自由控制结构，可以考虑系统的抗干扰性能和快速跟踪性能。

　　但是，由于CETF所包含的参数不确定性以及交叉耦合控制器参数的确定难度较大，本文提出了一种变增益交叉耦合控制方法，用来解决该问题。