考虑到直线电机模组是是自动化机械设备，所以在实际使用中一定要严格要求，把控好准确度的具体变化，并做好必要性的直线电机模组准确度测量。

　　运行平行度：在装置直线模组的平台上安防标准尺，用实验指示器在内滑动，可以移动的区域内做好测试，移动区域内数值的大的差便是测量值。

　　定位精度：以直线电机模式的行程为基准长度，用从基准位置开端实际的移动的间隔与指令值相互间的最大误差的绝对值来表示。

　　相同定位精度：对任何一点在一样的方向做好7次相同定位，再测出当中值位置，算出表头数值最大的差值的二分之一。当做测试的规则，在移动间隔的中心及大体上两侧的位置分别做好测试，将测试数值中的最大值当做测量值，用带有±的最大的差的二分之一表示。

　　游隙：对内滑块给予进给，以滑块刚刚开端移动时，实验指示器的数值为基准，这种模式开端，不依赖于进给装置，在内滑块移动的方向一样的方向上（工作台的进给的方向）施加负荷，过后把测试开端时的基准值与回去时位置相互间的差值，当做测量值。测试在运动大部分的中心及大体上两侧的位置分别做好，把所取得的数值中的最大值当做测量值。